Since the noise affects the quality of the Fizeaus interferograms in the large aperture,the rotated diffuser was driven ......

为了实现干涉测量平面的抗振，提出了一种同步移相干涉测量方案并搭建了实验装置。整个测量系统在菲佐移相干涉仪的基础上，利用四分之......

本文分析了影响Fizeau波长计测量精度的几种因素,给出了对测量环境温度、电磁干扰以及光束模式应控制的范围。......

研究了基于激光条纹成像的风速测量技术，根据Fizeau干涉仪透射率函数和大气中的分子散射光谱特征对其优化设计，得到了一套基于任意光......

光刻投影物镜元件面形精度为纳米量级,因此要求检测精度为纳米到亚纳米量级。为了完成光刻投影物镜的光学元件面形检测任务,提出了......

菲佐干涉仪中如存在多光束干涉现象，干涉光强将不再是严格的余弦分布形式。在导出菲佐干涉仪中多光束干涉光强公式的基础上，给出了将......